氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正程序 

•  校正所需設(shè)備 

•  100 級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái) 

•  一臺(tái)用于作對(duì)比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，如 Metone3400 

•  各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子，如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等 

•  標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255 

•  可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類(lèi)似裝置 

•  其它普通電器，如 220V 電源插座，萬(wàn)用表等等 

•  校正的基本原理 

標(biāo)準(zhǔn)粒子（如 0.301um ）通過(guò) 255 粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過(guò) 0.2um 的過(guò)濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時(shí)，將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對(duì)取樣管進(jìn)行抽樣測(cè)試，并比校 0.3um 粒徑的測(cè)試值。如果其平均值在 20% 以內(nèi)，認(rèn)為合格。如果不同型號(hào)的粒子計(jì)數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時(shí)間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測(cè)試結(jié)果。