Kosaka ET200臺階儀

     
 
    株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立，也是日本第一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商，主要有測定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測定部門為最具代表性單位且在日本精密測定也占有一席無法被取代的地位。
 
     KOSAKA ET200基于 Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
    ET200配備了各種型號探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

二次元表面解析，可測量段差

高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性

FPD面板顯示，可測定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等

低測定力，可測定軟質(zhì)材料

技術(shù)參數(shù)：

型號
 ET200
 
最大樣品尺寸
 φ160x48mm
 
樣品臺
 尺寸
 φ160
 
傾斜度
 ±2°（X,Y手動(dòng)）
 
承重
 2Kg
 
檢出器
 觸針力
 10μN(yùn)-500μN(yùn)（1mg-50mg）
 
范圍
 600μm（0.1nm分辨率）
 
驅(qū)動(dòng)
 直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器）
 
觸針
 R2μm  頂角60°
 
X軸
 最大測長
 100mm
 
直線度
 0.02μm/100mm
 
速度
 0.005-20mm/s
 
重復(fù)性
 ±5μm（定位）
 
Y軸
 最大測長
 25mm/手動(dòng)
 
Z軸
 最大測長
 50mm
 
放大倍數(shù)
 垂直
 50-2000000
 
水平
 1-10000
 
監(jiān)控系統(tǒng)
 攝像裝置
 1/3 inch CCD
 
監(jiān)視裝置
 視頻捕捉板
 
移動(dòng)方法
 手動(dòng)
 
輔助功能
 教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等
 
應(yīng)用
 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度
 
重復(fù)性
 1σ1nm
 
電源
 AC90-240V  50/60Hz 300VA
 
外觀尺寸
 W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺）
 
主要應(yīng)用---膜厚測量

前制程機(jī)臺（如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī)）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺階、應(yīng)力測試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺階測量。