本次合作的另一大重要意義是將最為成熟的針尖增強(qiáng)拉曼光譜系統(tǒng)應(yīng)用于最前沿的石墨烯研究。針尖增強(qiáng)拉曼光譜系統(tǒng)是目前研究的應(yīng)用熱點(diǎn)，英文稱(chēng)之為T(mén)ip Enhanced Raman Spectroscopy, 簡(jiǎn)稱(chēng)TERS。該技術(shù)利用表面等離子體共振現(xiàn)象，把原子力顯微鏡和拉曼光譜儀結(jié)合起來(lái)，將拉曼光譜儀的分辨率提高到了納米尺度。Park Systems公司和Horiba Jobin Yvon公司的合作開(kāi)發(fā)的TERS系統(tǒng)是目前全世界最為成熟穩(wěn)定的。

　　為了紀(jì)念這一重大進(jìn)展，天美公司副總裁趙薇女士、Park Systems的全球銷(xiāo)售總監(jiān)Jessica和微電子所的金智主任共同為示范實(shí)驗(yàn)室的建立進(jìn)行了揭幕，儀式后合影留念。三方一起為今后開(kāi)展更為深入的技術(shù)合作進(jìn)行了探討，并取得了非常愉快的共識(shí)。

　　石墨烯材料具有優(yōu)良的物理特性和易于與硅技術(shù)相結(jié)合的特點(diǎn)，被學(xué)術(shù)界和工業(yè)界認(rèn)為是推進(jìn)微電子技術(shù)進(jìn)一步發(fā)展的極具潛力的材料，其開(kāi)發(fā)者獲得了2010年的諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。Park Systems生產(chǎn)的XE系列原子力顯微鏡已被成功應(yīng)用于石墨烯機(jī)械和電子性能的測(cè)試，相關(guān)測(cè)量結(jié)果被發(fā)表在 Science、Nature materials和Nano Letter上。目前，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所微波器件與集成電路研究室(四室)石墨烯研究小組在金智研究員和劉新宇研究員的帶領(lǐng)下，正致力于研制高性能的石墨烯電子器件。隨著Park Systems原子力顯微鏡的安裝和投入使用，必將會(huì)有更多更有價(jià)值的測(cè)量結(jié)果被發(fā)掘出來(lái)。