近日，大連理工大學(xué)教授張振宇及其博士生王博、崔俊峰等在硅的變形誘導(dǎo)制造新型納米結(jié)構(gòu)方面取得重要進(jìn)展，相關(guān)研究發(fā)表于《納米通訊》。
目前的變形誘導(dǎo)方法主要是金剛石砧板、壓縮、劃擦、彎曲、納米壓痕和納米劃擦。但目前的變形誘導(dǎo)制造納米結(jié)構(gòu)的方法與實際的加工速度相差3～10個量級。
針對這個難題，大連理工大學(xué)自行設(shè)計制造了刃口半徑為2.5微米、投影角為140.7°的單顆磨粒金剛石刀具，研制了單顆磨粒納米深度超精密磨削裝備，實現(xiàn)了磨削速度為40.2米/秒的單顆磨粒納米深度超精密磨削試驗新方法，在切削深度為33 納米的時候加工出含有非晶、新的四方相、滑移帶、孿晶超晶格和單晶的新型納米結(jié)構(gòu)。
新型納米結(jié)構(gòu)的不同顯微結(jié)構(gòu)具有不同的力學(xué)、電學(xué)和光學(xué)性能，在晶體管、IC、二極管、太陽能電池、能量存儲系統(tǒng)、MEMS和NEMS領(lǐng)域具有潛在應(yīng)用價值，并為新型高性能器件與裝備的設(shè)計制造提供了新的思路。
