工藝流程
設(shè)備主體結(jié)構(gòu)由清洗機(jī)箱體、漏盤、上下噴淋系統(tǒng)、活動托盤、儲酸系統(tǒng)、抽風(fēng)系統(tǒng)、酸液循環(huán)系統(tǒng)、石英器皿腐蝕/清洗槽、熱風(fēng)烘干系統(tǒng)、管路部分、PLC+觸摸屏電控部分。該設(shè)備主體上下分為三部分：上層電器控制系統(tǒng)、后部抽風(fēng)系統(tǒng)，中層工作區(qū)，下層為管道安裝維修區(qū)、儲酸箱、DIW增壓泵、緩沖槽、酸液循環(huán)泵等。
首先將石英坩堝放入清洗機(jī)立式活動臺，檢查水、電、氣正常，活動門封閉，然后啟動按鈕→進(jìn)入酸洗程序→進(jìn)入DIW洗程序→冷風(fēng)預(yù)吹干→熱風(fēng)吹干→冷風(fēng)預(yù)冷卻→合格報警→人工用小車將石英坩堝取出清洗機(jī)，完成整個清洗工作。