特征 <BR> 結構緊湊,桌上單位 <BR> 可調射頻功率 <BR> 低,中,高級電源設置 <BR> 兩個等離子體清潔機型: <BR>o 的PDC - 001 ( 115V ) ;的PDC - 002 ( 230V ) <BR> -擴展模型 <BR> -包括一個6 “直徑6 1 / 2 ”長硼硅分庭和一個組成開關的真空泵 <BR> -它的鉸接蓋采用了磁性關閉和視窗 <BR> -適用于最高至30W的射頻線圈 <BR> - 1月8日“不擴散核武器條約針閥控制氣體流量和壓力室 <BR> - 1月8日“不擴散核武器條約3單向閥,快速開關出血天然氣,隔離室,和通風 <BR> -重量:四十五英鎊 <BR> -尺寸: 11 “高x 18 ”寬x 9日的“ D <BR>o 的PDC - 32G條( 115V ) ;的PDC - 32G條- 2 ( 230V ) <BR> -基本模型 <BR> -包括一個3 “直徑6 1 / 2 ”長硼硅廳和一個可移動的封面大會 <BR> -應用最多18W的射頻線圈 <BR> - 1月8日“不擴散核武器條約針閥控制氣體流量和壓力室 <BR> - 1月8日“不擴散核武器條約3單向閥,快速開關出血天然氣,隔離室,和通風 <BR> -重量:一十三英鎊 <BR> -尺寸: 8 1 / 2 “高x 10 ”寬x 8的“ D <BR> 任擇石英等離子體清潔室 <BR> 任擇流混合器允許獨立水表攝入量最多兩個不同的氣體和監(jiān)測的壓力,在會議廳內 <BR> 兼容現有真空泵 <BR>需要 <BR> 阿真空泵最低抽速為1.4 立方米 /小時,最高最終總壓200 mTorr <BR>電源設置 <BR> 描述 <BR>的PDC - 32G條或PDC - 32G條- 2 <BR>的PDC - 001或PDC - 002
<P></P> 輸入功率 <BR> 100W功率 <BR>功率200W
<P></P> 適用于射頻線圈
<P></P> 低設置 <BR> 680V直流 <BR> 10毫安直流 <BR> 6.8W <BR> 716V直流 <BR>一〇毫安直流 <BR> 7.16W
<P></P> 中設置 <BR> 700V直流 <BR>一五毫安直流 <BR> 10.5W <BR> 720V直流 <BR>一五毫安直流 <BR> 10.15W
<P></P> 高級設置 <BR> 720V直流 <BR>二十五毫安直流 <BR> 18W <BR> 740V直流 <BR> 40毫安直流 <BR> 29.6W
<P></P>
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