系統(tǒng)規(guī)格：
波長：637nm
入射角：連續(xù)，30~90°（±0.03°）
樣品尺寸：4inch~8inch
精度：（1200A SiO2標(biāo)準(zhǔn)片，5times）
      TKS±2.5A/N±0.005
尺寸：80cm×34cm×42cm
應(yīng)用：
鍍膜工藝  最佳化及監(jiān)控
  SiNx減反膜工藝
  TiO2減反膜工藝
  復(fù)合SiNx減反膜工藝
SiO2鈍化工藝
復(fù)合SiNx/SiO2減反膜工藝
SiO2掩膜工藝
軟件特征：
整合量測、分析、計(jì)算
操作模式安全化
同步原始數(shù)據(jù)呈現(xiàn)
硬件特征：
半導(dǎo)體鐳射光源
三格林泰勒棱鏡偏振系統(tǒng)
  波長：260-1800nm
  消光比：＞105
  發(fā)散角：≤3mrad
真空吸附載物臺(tái)
自動(dòng)連續(xù)入射角（零度校正）
高分辨率半導(dǎo)體探測器