1000A（100nm）氧化柵極固態(tài)劑量計(jì)

技術(shù)要求
典型數(shù)值在27°C

氧化層厚度1000A

輻射Vth靈敏度
輻射場 = 0.125 MV/cm : 靈敏度 = 0.09mV/rad 
輻射場= 0 MV/cm : 靈敏度= 0.014mV/rad 
(靈敏度在 30 krad(H2O)，在以下讀寫器的配置中使用一個恒量10µA) 

溫度補(bǔ)償
TVTC 2.5mV/°C
(該數(shù)據(jù)出自溫度27°C-100°C線性模式中的外推Vtp數(shù)值) 
線性模式中Z.T.C. 數(shù)值 ~ 3µA
(Vs=Vb=0, Vds=-0.1) 
飽和模式中Z.T.C.數(shù)值 ~ 30µA
(使用以下讀寫器電路配置) 
預(yù)輻射劑量計(jì)的特點(diǎn)
閾值電壓（外推）-2.15 +/- 0.1V 
Vth漂移時間（秒）2.2mV/十年
(該數(shù)據(jù)出自讀寫器配置強(qiáng)迫40µA.) 
氧化層擊穿電壓 ~ 75V 
溝道漏電流Vd=-12, Vg=Vs=Vbulk=0 ~ 10 pA 
亞閾值斜率100 +/- 20 mV/十年 
溝道電阻Vgs-Vth=5V, Vds=-0.1 ~ 0.3 Mohms 
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