反滲透（膜分離）技術(shù)的應(yīng)用使超純水制備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器、混合 近年來開始在國外推廣應(yīng)用的EDI（電去離子）技術(shù)，則是超純水制造技術(shù)的一次革命，從此進(jìn)入了一個(gè)無需再生化學(xué)品，而能生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ•CM的超純水，用于半導(dǎo)體、集成電路等行業(yè)。國家經(jīng)委也已將RO + EDI 成套技術(shù)的應(yīng)用列入國家重點(diǎn)推廣范圍，對(duì)使用的企業(yè)給以政策上的優(yōu)惠