型號：　　　　 Beyond-Crysta C544 
測量范圍 ：　　X軸 505mm(20")
　　　　　　　Y軸　405mm(16") 
　　　　　　　Z軸 　405mm(16")
測長系統(tǒng)基準(zhǔn)： 反射光柵 
分辨率：　　　 0.0001mm
導(dǎo)向方式:      各坐標(biāo)軸上的空氣軸承 
測量精度:      (20℃±1℃)ISO 10360-2
               E=(1.9+3L/1000)μm (當(dāng)使用TP200時) 
               E=(1.7+3L/1000)μm (當(dāng)使用SP600時) 
               R=1.9 μm (當(dāng)使用TP200時) R=1.7 μm (當(dāng)使用SP600時)
               ANSI/ASMEB89.1.球桿性能=9μm (.00036") 重復(fù)精度=3μm
驅(qū)動速度:      CNC模式 每軸定位時驅(qū)動速度 8mm/s至250mm/s(.31"/s至9.84"/s) 
             (三軸移動時最大驅(qū)動速度430mm/s(16.93"/s)) 測量時驅(qū)動速度1mm/s至3mm/s(.04"/s至.12"/s)
操縱桿模式0至80mm/s(3.15"/s)(高速模式) 0至3mm/s(.12"/s)(低速模式) 0.05mm/s(.002"/s)(微進(jìn)給模式) 
最大測量速度: 8mm/s
最大測量加速度: 各軸加速度980mm/s2(38.58"/s2) (三軸移動時最大合成加速度1697mm/s2(66.81"/s2))
工件 最大高度: 545mm
最大重量:　　 180kg
質(zhì)量：　　　 515kg
氣壓：　　　 0.4Mpa
空氣消耗量： 50升/分(在正常條件下)或1.8CFM
溫度范圍：　16至26℃ 
溫度漂移：　每小時 　2.0k
　　　　　　每24小時 5.0k
溫度梯度：　垂直方向 1.0k/m
　　　　　　水平方向 1.0k/m