項(xiàng)次

           項(xiàng)目            

具體參數(shù)

1

輸出項(xiàng)目

          相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】

2

測(cè)量波長(zhǎng)

520nm

3

雙折射測(cè)量范圍

0-130nm

4

測(cè)量最小分辨率

0.001nm

5

測(cè)量重復(fù)精度

<1nm（西格瑪）

6

視野尺寸

142x170um到3.5x4.2mm
(×2，×5，×10，×20，×50)

7

選配鏡頭視野

無(wú)

8

選配功能    

            實(shí)時(shí)解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實(shí)現(xiàn)外部控制